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真空泵
真空泵是通過(guò)機(jī)械、物理、化學(xué)等多種方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件設(shè)備,真空泵廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。下面來(lái)具體了解一下真空泵的分類及特點(diǎn)。
1. 按性能特點(diǎn)和用途分類
(1) 低真空泵
泵的極限壓力高于l0²Pa的真空泵屬于低真空泵。常見(jiàn)的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。
(2) 中真空泵
極限壓力在10^2-10^(-1)Pa的真空泵屬于中真空泵。常見(jiàn)的有羅茨真空泵、多級(jí)噴射式真空泵、多級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。
(3) 高真空泵
極限壓力在10^(-1)-10^(-5)Pa的真空泵屬高真空泵。常見(jiàn)的高真空泵有各種擴(kuò)散泵及分子泵等。
(4) 超高真空泵
極限壓力低于10^(-5)Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。
2. 按工作原理和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類
(1)機(jī)械式容積真空泵
靠機(jī)械運(yùn)動(dòng)使泵腔工作容積周期變化來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的是機(jī)械式容積真空泵。屬于這類泵的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類栗中除機(jī)械增壓泵外,一般均可單獨(dú)使用。
(2)射流式真空泵
沒(méi)有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件,主要靠通過(guò)噴嘴的高速射流來(lái)抽真空的是射流式真空泵。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴(kuò)散泵等。這類泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,工作可靠,壽命長(zhǎng),易于維修,應(yīng)用比較普遍。
3.各類真空泵的工作壓力范圍及特征。
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